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旋片式真空泵的工作原理

     在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧的密封吸入室。因此，在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始冷凝前排出置换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力，高于无气镇操作所达到的压力。

工作液、油

     泵油，也成为工作液，在旋片式真空泵种泵油有多个任务要求执行。它润滑所有移动部件，填充的出口

阀下的固定空间以及缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工作室之间的间隙，此外还通过热传递确保jia温度平衡。

多级泵

     旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现相对更低的极限压力。此外，气镇对极限的影响较低，因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

    根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。真空安全阀在有意或意外停顿的情况下

将泵与真空室隔离，并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液上升到真空室中。在开启泵后，一旦泵中

的压力已达到真空室中的近似压力，它稍作延迟就打开。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓——{精}普发 Hipace 80分子泵

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普发分子泵 Hipace 80的工作原理

轴承

   通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都安排在前真空侧，因为轴承中有润滑剂。这导致转子凭借其较大质量产生的单边（悬臂）支撑。

   混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承 指ding在一个单一泵中使用两个轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。润滑前真空侧轴承的油包含在工作液储罐中。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承内自由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只短时间转动。如果转子失去平衡，轴两端的轴承将比浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空侧的磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力被传输到壳体上。并且，这无须悬臂概念中较大的两个轴承，其较小的尺寸限制了转速。

PFEIFFER  Hipace 80配套的电源 TC110如下图

电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流

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